功能简介：
该系统作为化学气相沉积炉的重要组成部分，主要用于化学气相沉积炉初始真空抽取、维持CVI/CVD 过程工作压力，确保设备长时间安全、可靠运行。
仪器型号与工作条件：
该系统作为XX条件保障建设项目支持的大型化学气相沉积炉一个重要组成部分，于2015年在国家重点实验室仪器设备专项经费支持下开展改造升级工作，目前已完成该设备的改造升级并投入使用。
该系统为非标、自主集成，抽速：≥780m3/h；极限真空：<10Pa。
存放地点与联系人：
设备安放地址：嘉定园区七号楼一楼实验室
联系人：高乐，021-69906075
仪器图片：
沪公网安备 31010502006565号
