上海硅酸盐所  |  中国科学院  
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低能离子减薄仪 当前位置:首页> 仪器装备>仪器设备种类>低能离子减薄仪

  功能简介: 

  低能离子减薄仪是透射电子显微镜(TEM)的样品制样设备,适用于块体或薄膜材料的超薄片TEM样品制备。该制样设备配备了低能离子枪和液氮冷阱,可减少样品表面的因离子束轰击而产生的非晶区域,并减小离子束对易损伤样品的结构破坏,从而还原样品的真实结构以供TEM分析研究。是目前对TEM超薄片制样技术的基本要求。 

    

  仪器型号与工作条件: 

  设备厂商:美国Gatan公司,型号:Model 695.O减薄角度:最大角度不小于±10°,每杆离子枪可独立调节;样品台可移动:载台可以实现XY方向的移动,移动范围不小于:+/- 0.5mm;离子枪束能量:最低加速电压不大于0.5keV,最高加速电压8~10keV;离子束调制:可以进行角度选择性区域离子减薄;真空系统:无油机械泵+分子泵系统;离子源:氩气;控制部分:触摸屏控制,菜单化操作,并支持减薄程序的设定和储存;液氮冷台:标配液氮冷台,可连续工作6-8小时 

    

  存放地点与联系人: 

  设备安放地址:长宁园区3104室。 

  联系人:朱晨曦,021-52413104 

    

  仪器图片: 

   

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