与惰性气氛手套箱联用的用于锂电池制备的热蒸发、磁控溅射及靶材制备系统

    功能简介： 

　　设备主要由陶瓷靶材/电解质制备部分、电极薄膜沉积系统和惰性气氛手套箱经三部分组成，主要部件包括有机/金属源蒸发沉积室、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、样品加热控温、电控系统、配气系统、高温烧结炉、手套箱等部分。通过采取由手套箱将真空沉积室包融为一体的结构模式，使热蒸发沉积室在手套箱内。在水、氧≤1 PPM的氛围中，可较便利的完成：更换样品、更换蒸镀材料、锂和金属薄膜连续制备、陶瓷烧结和电池封装等功能；还能经过渡舱将沉积室体拿出手套外，完成清洁工作。由于采用惰性气氛的保护，在实验中可提高高品质膜层制备与封装效率。 

　　仪器型号与工作条件： 

　　设备厂商:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司,型号:订制研发。1.真空室具有前后门双开门结构，便于设备的维修和实验样品的安装与更换。安装有可自传的样品台。真空室各组成部分包括蒸发源、分子泵抽气口、真空测试探头和膜厚测试探头等布局合理。真空室的极限真空度可达10-5 Pa，漏率为关机12小时≤5 Pa。2．蒸发源共4套，包括2套束源炉和2套钨丝加热蒸发舟。蒸发温度的控制精度为±1 ℃为。蒸发源采用全封闭结构，彻底杜绝交叉污染。3. 溅射方式包括射频和直流：射频模式下可以完成自动阻抗匹配；直流电源功率为2 kw。靶材尺寸为3英寸。4．样品台具有旋转、升降、加热（最高300 ℃）功能，具有可在线更换掩膜板功能，掩模板与样品无间隙贴合。样品台可同时装载样品四块，每个样品具有独立的挡板，可通过机械手在线控制开关。5．样品加热系统配置样品加热电源1台，电源精度±1 ℃。6．薄膜厚度测试部件，可实现薄膜厚度的原位检测。7．整套机组配有水压检测、缺相保护、误操作保护等功能。8. 手套箱部分可实现水、氧值均小于1 ppm。9. 手套箱内嵌式高温炉，炉膛尺寸15*15*15 cm，温度最高可实现1400 ℃。 

　　存放地点与联系人： 

　　设备安放地址：长宁园区4号楼4层。 

　　联系人：董满江，021-5241171。 

　　仪器图片：