上海硅酸盐所  |  中国科学院  
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仪器设备种类
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虚拟仿真三维可视化软件及X射线源
化学气相沉积炉真空系统
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固态输运高温气相沉积系统
活塞-圆筒高温超高压装置
织构化新材料合成用强磁场设备
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流式细胞仪
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低能离子减薄仪
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超高温强度试验机
卷对卷磁控溅射镀膜设备
热蒸发、磁控溅射及靶材制备系统
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电学性能测试综合装置
火焰环境高温拉伸/蠕变测试仪
MCR 301流变仪
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高灵敏度Zeta电位及粒度分析仪
傅里叶变换红外光谱仪
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先进陶瓷超临界/亚临界水腐蚀系统设备
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颗粒增强化学气相沉积系统 当前位置:首页> 仪器装备>仪器设备种类>颗粒增强化学气相沉积系统

  功能简介: 

  超高温陶瓷基复合材料构件研制能力已成为制约我国新型飞行器技术水平的重要条件。化学气相沉积技术制备超高温陶瓷基复合材料具有良好的耐烧蚀性能,在我国极端环境服役陶瓷基复合材料构件研制中发挥重要作用。颗粒增强化学气相沉积系统主要用于超高温极端服役环境下陶瓷基复合材料及构件研制、通过化学气相渗透/沉积工艺进行陶瓷基复合材料基体和抗氧化涂层的超高温改性。 

    

  仪器型号与工作条件: 

  该系统为2008年中科院上海硅酸盐所自行设计研制,于2015年在国家重点实验室仪器设备专项经费支持下开展改造升级工作,目前已完成对该设备的改造升级并投入使用。 

  该设备为非标、自主集成,最高工作温度:1600oC;极限真空度:≤10Pa;有效工作区域:Φ410mm x620mm。该设备主要用于复合材料(超)高温基体及(超)高温抗氧化涂层的制备。 

    

  存放地点与联系人: 

  设备安放地址:嘉定园区七号楼一楼实验室 

  联系人:高乐,021-69906075 

  仪器图片: 

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